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                通知公告

                “Journal of Microelectronic Manufacturing”第三卷第一期发表征稿

                稿件来源: 发布时间:2020-03-31

                  近期,由彩神8快3微电子研究所、国科大微电子学院联︽合创办的国际全英文学术期●刊《Journal of Microelectronic Manufacturing》(JoMM,国际标准期刊编号ISSN2578-3769)成功出版了第三卷第一期。 

                      本期〓专题文章如下: 

                 

                  DFM: “Design for Manufacturing” or “Design Friendly Manufacturing” 

                  Wenzhan Zhou, Hung-Wen Chao, Yu Zhang, et al. 2020 JoMM Volume 3, Issue 1: 20030101 

                 

                       


                   Key Process Approach Recommendation for 5 nm Logic Process Flow with EUV Photolithography 

                  Yushu Yang, Yanli Li, Qiang Wu, et al. 2020 JoMM Volume 3, Issue 1: 20030103 

                 

                  JoMM 旨在发表集成电路╳制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产◤阶段的研究成果,内容包括但不限于DesignProcessMetrology & Yield ControlPackagingMaterialsEquipment 等方面。作为开放阅览电子学术期刊,JoMM致力于实现快速发◣表,稿件录♀用后即时上线,可阅览、下载、引用。 

                  目前,JoMM正在进行2020年征稿,并免版□面费,同时也在征集Special Issue的专题,以及欢迎新编↓委、同行★评审专家加入JoMM,详情请查看官ω网. 

                  欢迎投稿! 

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